精密光學(xué)平臺分為兩大類：氣囊減振及機(jī)械阻尼減振,氣囊減振可獲得較低的頻率（0.7-3）Hz,機(jī)械阻尼減振效果稍遜(3-6)Hz所采用不同的方法減振效果也不同,在選擇精密光學(xué)平臺的時候要考慮所要求的精密光學(xué)平臺其減振性能與實(shí)驗(yàn)采集數(shù)據(jù)的精密性相適應(yīng),精密光學(xué)平臺調(diào)試精密度與穩(wěn)定性能也直接影響數(shù)據(jù)的正常采集。
　　動柔量是動撓度與動力的比值，它是頻率的函數(shù)。自由剛體的動柔量與頻率的平方成反比，在對數(shù)坐標(biāo)系中由一條直線表示。對動柔量進(jìn)行繪圖可以很方便地估計平臺實(shí)際行為與剛體行為的差別。zui近的研究表明：精密光學(xué)平臺的設(shè)計受到三個分離的頻段（低頻、中頻及高頻）影響，并且zui高頻率可達(dá)幾千赫茲。
　　精密光學(xué)平臺的桌腿中裝有氣動單元，它與平臺的材料及設(shè)計相結(jié)合可以減少環(huán)境中的物體（例如人員走動、建筑物內(nèi)其它設(shè)備以及行駛的汽車等）造成的大幅度低頻振動。這些外部力會使平臺發(fā)生剛體運(yùn)動，這種運(yùn)動本質(zhì)上是2維的并且對大多數(shù)光學(xué)實(shí)驗(yàn)不會造成影響。在千赫茲頻段的高頻振動也不會明顯地影響平臺的穩(wěn)定性。然而，造成精密光學(xué)平臺表面彎曲的中頻共振及彎曲振動會對光學(xué)實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)直造成極大影響。
　　彎曲振動形成的共振通常是由平臺表面的負(fù)載及環(huán)境擾動造成的，典型頻率為100～500Hz。可以通過兩種方式控制這些振動：使用重調(diào)節(jié)或?qū)拵ё枘釂卧獙ζ脚_進(jìn)行調(diào)整，或者用主動阻尼以抵消現(xiàn)有的彎曲頻率。調(diào)整及寬帶方法還是對精密光學(xué)平臺共振頻率進(jìn)行衰減的*可行途徑。但這種方法的問題在于共振頻率帶會隨平臺上負(fù)載物體的改變而發(fā)生變化；此外，另一個缺點(diǎn)是隨后的實(shí)驗(yàn)可能需要一個不同的（并且未被補(bǔ)償?shù)模┱{(diào)整區(qū)。更好的解決方案是建造一種能夠?qū)崟r感應(yīng)現(xiàn)有的振動頻率、主動對其進(jìn)行補(bǔ)償并且不會引入不穩(wěn)定性的精密光學(xué)平臺。
　　與定制的調(diào)節(jié)系統(tǒng)相比，具有自適應(yīng)調(diào)節(jié)功能的精密光學(xué)平臺質(zhì)量輕、造價低，其實(shí)時阻尼能力可以提供更好的穩(wěn)定性。此外，它還可以對平臺的振動頻率進(jìn)行監(jiān)測并進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。